Circularly symmetric nanopores in 3D femtosecond laser nanolithography with burst control and the role of energy dose

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Zeitschrift:
Nanophotonics

ISSN: 2192-8614

Datum der Publikation: 2023

Ausgabe: 12

Nummer: 8

Seiten: 1511-1525

Art: Artikel

DOI: 10.1515/NANOPH-2022-0665 GOOGLE SCHOLAR lock_openOpen Access editor
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