New metrology technique for measuring wafer geometry on a full 300mm silicon wafer

  1. Trujillo-Sevilla, J.M.
  2. Casanova-González, O.
  3. Velasco-Ocaña, M.
  4. Ceruso, S.
  5. Oliva-Garciá, R.
  6. Gómez-Cárdenes, O.
  7. Martín-Hernández, J.
  8. Roqué-Velasco, A.
  9. Pérez-Garciá, A.
  10. Ramos-Rodríguez, J.M.
  11. Gaudestad, J.O.
Actas:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 1996-756X 0277-786X

ISBN: 9781510645523

Año de publicación: 2021

Volumen: 11854

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1117/12.2605516 GOOGLE SCHOLAR

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