Effect of photoetching on porous silicon morphology

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Zeitschrift:
Surface and Interface Analysis

ISSN: 0142-2421

Datum der Publikation: 1997

Ausgabe: 25

Nummer: 9

Seiten: 677-682

Art: Artikel

DOI: 10.1002/(SICI)1096-9918(199708)25:9<677::AID-SIA281>3.0.CO;2-8 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus