Transport theories of sputtering

  1. Jakas, M.M.
Revista:
Philosophical Transactions of the Royal Society A: Mathematical, Physical and Engineering Sciences

ISSN: 1364-503X

Año de publicación: 2004

Volumen: 362

Número: 1814

Páginas: 139-156

Tipo: Revisión

DOI: 10.1098/RSTA.2003.1305 GOOGLE SCHOLAR