Energy reflection by back-scattering and sputtering: Total yields and angular distribution

  1. Jakas, M.M.
  2. Williams, M.M.R.
Zeitschrift:
Journal of Physics D: Applied Physics

ISSN: 0022-3727

Datum der Publikation: 1980

Ausgabe: 13

Nummer: 7

Seiten: 1169-1180

Art: Artikel

DOI: 10.1088/0022-3727/13/7/012 GOOGLE SCHOLAR
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