Wave front phase imaging for silicon wafer metrology

  1. Trujillo-Sevilla, J.M.
  2. Roqué-Velasco, A.
  3. Jesús Sicilia, M.
  4. Casanova-González, Ó.
  5. Rodríguez-Ramos, J.M.
  6. Gaudestad, J.O.
Actes:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 1996-756X,  0277-786X

ISBN: 9781510654167

Any de publicació: 2022

Volum: 12216

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1117/12.2632499 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus