New wave front phase sensor used for 3D shape measurements of patterned silicon wafers

  1. Trujillo-Sevilla, Juan M.
  2. Gomez-Cardenes, Oscar
  3. Roque-Velasco, Alex
  4. Sicilia, Miguel A.
  5. Gonzalez Pardo, Javier
  6. Manuel Ramos-Rodriguez, Jose
  7. Gaudestad, Jan O.
Colección de libros:
INTERNATIONAL CONFERENCE ON EXTREME ULTRAVIOLET LITHOGRAPHY 2022
  1. Itani, T (coord.)
  2. Naulleau, PP (coord.)
  3. Gargini, PA (coord.)
  4. Ronse, KG (coord.)

ISSN: 0277-786X,  1996-756X

ISBN: 978-1-5106-5640-6

Año de publicación: 2022

Volumen: 12292

Congreso: International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1117/12.2642287 GOOGLE SCHOLAR
Fuente de los datos: WoS