Chemical etching effects in porous silicon layers

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  7. Pavesi, L.
Actas:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 0277-786X

Año de publicación: 2003

Volumen: 5118

Páginas: 109-116

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1117/12.499073 GOOGLE SCHOLAR
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