High speed roughness measurement on blank silicon wafers using wave front phase imaging

  1. Trujillo-Sevilla, J.M.
  2. Rodríguez-Ramos, J.M.
  3. Gaudestad, J.
Actes:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 1996-756X,  0277-786X

ISBN: 9781510634176

Any de publicació: 2020

Volum: 11325

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1117/12.2547406 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus