A comparison between multiple interaction computer simulations and the linear theory of sputtering

  1. Jakas, M.M.
  2. Harrison Jr., D.E.
Zeitschrift:
Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B

ISSN: 0168-583X

Datum der Publikation: 1986

Ausgabe: 14

Nummer: 4-6

Seiten: 535-541

Art: Artikel

DOI: 10.1016/0168-583X(86)90151-5 GOOGLE SCHOLAR
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