Anisotropy and Mechanistic Elucidation of Wet-Chemical Gallium Nitride Etching at the Atomic Level

  1. Tautz, M.
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  5. Díaz Díaz, D.
Zeitschrift:
Physica Status Solidi (A) Applications and Materials Science

ISSN: 1862-6319,  1862-6300

Datum der Publikation: 2020

Ausgabe: 217

Nummer: 21

Art: Artikel

DOI: 10.1002/PSSA.202000221 GOOGLE SCHOLAR lock_openOpen Access editor
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