Three-dimensional fs-laser subtractive nanolithography of crystals

  1. Ródenas, A.
  2. Paz-Buclatin, F.
  3. Casasnovas Melián, A.
  4. De Varona, O.
  5. Martin, L.L.
  6. Martin, I.R.
Actas:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 1996-756X,  0277-786X

ISBN: 9781510648494

Año de publicación: 2022

Volumen: 11989

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1117/12.2608613 GOOGLE SCHOLAR

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