Surface Morphology Evolution of Chemical Vapor-Deposited Tungsten Films on Si(100)
- Vázquez, L.
- Salvarezza, R.C.
- Albano, E.
- Arvia, A.J.
- Hernández Creus, A.
- Levy, R.A.
- Albella, J.M.
ISSN: 0948-1907
Datum der Publikation: 1998
Ausgabe: 4
Nummer: 3
Seiten: 89-91
Art: Artikel