A novel study of the growth and resistivity of nanocrystalline Pt films obtained from Pt(acac)2 in the presence of oxygen or water vapor

  1. Battiston, G.A.
  2. Gerbasi, R.
  3. Rodriguez, A.
Revista:
Chemical Vapor Deposition

ISSN: 0948-1907

Any de publicació: 2005

Volum: 11

Número: 3

Pàgines: 130-135

Tipus: Article

DOI: 10.1002/CVDE.200404201 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus