A novel study of the growth and resistivity of nanocrystalline Pt films obtained from Pt(acac)2 in the presence of oxygen or water vapor

  1. Battiston, G.A.
  2. Gerbasi, R.
  3. Rodriguez, A.
Zeitschrift:
Chemical Vapor Deposition

ISSN: 0948-1907

Datum der Publikation: 2005

Ausgabe: 11

Nummer: 3

Seiten: 130-135

Art: Artikel

DOI: 10.1002/CVDE.200404201 GOOGLE SCHOLAR
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