High speed roughness measurement on blank silicon wafers using wave front phase imaging

  1. Trujillo-Sevilla, J.M.
  2. Rodríguez-Ramos, J.M.
  3. Gaudestad, J.
Actas:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 1996-756X,  0277-786X

ISBN: 9781510634176

Año de publicación: 2020

Volumen: 11325

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1117/12.2547406 GOOGLE SCHOLAR
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