Anisotropy and Mechanistic Elucidation of Wet-Chemical Gallium Nitride Etching at the Atomic Level

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Revista:
Physica Status Solidi (A) Applications and Materials Science

ISSN: 1862-6319 1862-6300

Año de publicación: 2020

Volumen: 217

Número: 21

Tipo: Artículo

DOI: 10.1002/PSSA.202000221 GOOGLE SCHOLAR lock_openAcceso abierto editor