Spike models for sputtering: Effect of the surface and the material stiffness

  1. Bringa, E.M.
  2. Jakas, M.
  3. Johnson, R.E.
Revista:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Año de publicación: 2000

Volumen: 164

Páginas: 762-771

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/S0168-583X(99)01068-X GOOGLE SCHOLAR

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