Role of microstructure and layer thickness in porous silicon conductometric gas sensors

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Zeitschrift:
Physica Status Solidi (A) Applications and Materials Science

ISSN: 1862-6300 1862-6319

Datum der Publikation: 2005

Ausgabe: 202

Nummer: 8

Seiten: 1467-1471

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1002/PSSA.200461138 GOOGLE SCHOLAR