Subtractive 3D Laser Nanolithography of Crystals by Giant Wet-Chemical Etching Selectivity

  1. Seguí, A.R.
Col·lecció de llibres:
Springer Series in Optical Sciences

ISSN: 1556-1534,  0342-4111

Any de publicació: 2023

Volum: 239

Pàgines: 725-757

Tipus: Capítol de llibre

DOI: 10.1007/978-3-031-14752-4_20 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus