Subtractive 3D Laser Nanolithography of Crystals by Giant Wet-Chemical Etching Selectivity

  1. Seguí, A.R.
Colección de libros:
Springer Series in Optical Sciences

ISSN: 1556-1534 0342-4111

Ano de publicación: 2023

Volume: 239

Páxinas: 725-757

Tipo: Capítulo de libro

DOI: 10.1007/978-3-031-14752-4_20 GOOGLE SCHOLAR