Subtractive 3D Laser Nanolithography of Crystals by Giant Wet-Chemical Etching Selectivity

  1. Seguí, A.R.
Collection de livres:
Springer Series in Optical Sciences

ISSN: 1556-1534,  0342-4111

Année de publication: 2023

Volumen: 239

Pages: 725-757

Type: Chapitre d'ouvrage

DOI: 10.1007/978-3-031-14752-4_20 GOOGLE SCHOLAR
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