Subtractive 3D Laser Nanolithography of Crystals by Giant Wet-Chemical Etching Selectivity

  1. Seguí, A.R.
Büchersammlung:
Springer Series in Optical Sciences

ISSN: 1556-1534,  0342-4111

Datum der Publikation: 2023

Ausgabe: 239

Seiten: 725-757

Art: Buch-Kapitel

DOI: 10.1007/978-3-031-14752-4_20 GOOGLE SCHOLAR
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