Subtractive 3D Laser Nanolithography of Crystals by Giant Wet-Chemical Etching Selectivity

  1. Seguí, A.R.
Colección de libros:
Springer Series in Optical Sciences

ISSN: 1556-1534 0342-4111

Año de publicación: 2023

Volumen: 239

Páginas: 725-757

Tipo: Capítulo de Libro

DOI: 10.1007/978-3-031-14752-4_20 GOOGLE SCHOLAR